Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1995 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 120036975 |
HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology B |
Band | 12 |
Seiten | 3171-75 |
Erscheinungsvermerk | (1994) |