| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120036975 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology B |
| Band | 12 |
| Seiten | 3171-75 |
| Erscheinungsvermerk | (1994) |