Movable microstructures made by a sub-micron LIGA process

Börner, M.; Kohl, M.; Pantenburg, F. J.; Bacher, W.; Hein, H.; Schomburg, W. K.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1996
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 120036984
HGF-Programm	41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	Microsystem Technologies
Band	2
Seiten	149-52
Erscheinungsvermerk	Internat.Solid-State Sensors and Actuators Conf., Transducers '95, Stockholm, S, June 25-29, 1995 High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995