Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1996 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 120036990 |
HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Digest of Technical Papers |
Band | 53 |
Erscheinungsvermerk | 8th Internat.Solid-State Sensors and Actuators Conf., Transducers '95 and Eurosensors IX, Stockholm, S, June 25-29, 1995, Vol.2 S.400-03 Sensors and Actuators A, S.416-22 |