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Verification of the micromechanical characteristics of electrostatic linear actuators

Kohl, M.; Göttert, J.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 120036990
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erschienen in Digest of Technical Papers
Band 53
Erscheinungsvermerk 8th Internat.Solid-State Sensors and Actuators Conf., Transducers '95 and Eurosensors IX, Stockholm, S, June 25-29, 1995, Vol.2 S.400-03 Sensors and Actuators A, S.416-22
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