Mikroelektronik für die Mikrosystemtechnik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Prozessinstrumentierung und Elektronik (HPE) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120037123 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Nachrichten - Forschungszentrum Karlsruhe |
| Band | 27 |
| Seiten | 59-69 |