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Micromachining by accelerated nanoparticle erosion

Gspann, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 120037271
HGF-Programm 52.01.12 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Microelectronic Engineering
Band 27
Seiten 517-20
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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