Micromachining by accelerated nanoparticle erosion
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120037271 |
| HGF-Programm | 52.01.12 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microelectronic Engineering |
| Band | 27 |
| Seiten | 517-20 |