| Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Ingenieurtechnik (HIT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120037356 |
| HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Feinwerktechnik |
| Band | 103 |
| Seiten | 261 |
| Erscheinungsvermerk | Mikrotechnik, Messtechnik |