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High aspect ratio multi-level mold inserts fabricated by mechanical micro machining and deep etch X-ray lithography

Fahrenberg, J.; Schaller, Th.; Bacher, W.; El-Kholi, A.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 120037514
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 2
Seiten 174-77
Erscheinungsvermerk High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995
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