High aspect ratio multi-level mold inserts fabricated by mechanical micro machining and deep etch X-ray lithography

Fahrenberg, J.; Schaller, Th.; Bacher, W.; El-Kholi, A.; Schomburg, W. K.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1996
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 120037514
HGF-Programm	41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	Microsystem Technologies
Band	2
Seiten	174-77
Erscheinungsvermerk	High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995