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Nucleation and growth of Ni- and Au-LIGA-layers

Strobel, M.; Schmidt, U.; Bade, K.; Halbritter, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 120037556
HGF-Programm 41.01.03; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 3
Seiten 10-16
Erscheinungsvermerk High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995
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