| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120037599 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Schweizer Maschinenmarkt |
| Heft | 25 |
| Seiten | 52-55 |
| Erscheinungsvermerk | (1995) |