KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Combination of LIGA with other microstructure technologies

Menz, W.; Bacher, W.; Bier, W.; Hagena, O.F.; Mohr, J.; Seidel, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 120037603
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 2
Seiten 162-66
Erscheinungsvermerk High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page