Studies of the adhesion properties of LIGA microstructures by X-ray spectroscopy and mechanical measurements
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120037635 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 2 |
| Seiten | 71-74 |
| Erscheinungsvermerk | High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995 |