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Oxidation and 6H-SiC-SiO₂ interfaces

Hornetz, B.; Michel, H.J.; Halbritter, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 120037705
HGF-Programm 41.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology A
Band 13
Seiten 767-71
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