Oxidation and 6H-SiC-SiO₂ interfaces
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120037705 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology A |
| Band | 13 |
| Seiten | 767-71 |