Development of ceramic microstructures
Ritzhaupt-Kleissl, H. J.; Bauer, W.
; Günther, E.; Laubersheimer, J.; Hausselt, J.
; Günther, E.; Laubersheimer, J.; Hausselt, J.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120037756 |
| HGF-Programm | 41.02.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 3 |
| Seiten | 130-34 |
| Erscheinungsvermerk | High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995 |