Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1995 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 120037854 |
HGF-Programm | 52.01.23 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology B |
Band | 13 |
Seiten | 1247-51 |