Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1995 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 120037952 |
HGF-Programm | 41.05.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
Band | 5 |
Seiten | 226-30 |