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Tribological investigations of LIGA-microstructures

Bieger, T.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 120038446
HGF-Programm 41.02.04; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 2
Seiten 63-70
Erscheinungsvermerk High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995
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