Synchrotron radiation analysis of microstructures

Mölders, N.; Moser, H. O.; Menz, W.; Schilling, P. J.; Saile, V.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1996
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 120038453
HGF-Programm	41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	Microsystem Technologies
Band	2
Seiten	56-62
Erscheinungsvermerk	High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995