Fabrication of LIGA-acceleration sensors by aligned molding
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120038456 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 2 |
| Seiten | 104-08 |
| Erscheinungsvermerk | High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995 |