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Fabrication of LIGA-acceleration sensors by aligned molding

Both, A.; Bacher, W.; Heckele, M.; Müller, K.D.; Ruprecht, R.; Strohrmann, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 120038456
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 2
Seiten 104-08
Erscheinungsvermerk High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995
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