The LIGA technique and its potential for microsystems - a survey
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120038926 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | IEEE Transactions on Industrial Electronics |
| Band | 42 |
| Seiten | 431-41 |
| Erscheinungsvermerk | (1995) |