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The LIGA technique and its potential for microsystems - a survey

Bacher, W.; Menz, W.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 120038926
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erschienen in IEEE Transactions on Industrial Electronics
Band 42
Seiten 431-41
Erscheinungsvermerk (1995)
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