| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Projekt Mikrosystemtechnik (PMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120039159 |
| HGF-Programm | 41.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | SZQ-Nachrichten |
| Heft | 1 |
| Seiten | 13-14 |
| Erscheinungsvermerk | (1996) |