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Magnetische LIGA-Mikroaktoren

Rogge, B.; Schulz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 120039313
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erschienen in F & M : Feinwerktechnik, Mikrotechnik, Mikroelektronik
Band 104
Seiten 278-80
Erscheinungsvermerk Mikrotechnik, Messtechnik
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