Magnetische LIGA-Mikroaktoren
Rogge, B.; Schulz, J.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120039313 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | F & M : Feinwerktechnik, Mikrotechnik, Mikroelektronik |
| Band | 104 |
| Seiten | 278-80 |
| Erscheinungsvermerk | Mikrotechnik, Messtechnik |