| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120040451 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Sensors and Actuators A |
| Band | 53 |
| Seiten | 434-39 |