Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1996 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 120040451 |
HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Sensors and Actuators A |
Band | 53 |
Seiten | 434-39 |