ANKA-Synchrotronstrahlungsquelle für die Mikrofertigung und Analytik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Projekt Mikrosystemtechnik (PMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120040530 |
| HGF-Programm | 41.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Nachrichten - Forschungszentrum Karlsruhe |
| Band | 28 |
| Seiten | 269-80 |