Modular hot embossing equipment for MEMS
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120040980 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Micromachine Devices |
| Heft | 2 |
| Seiten | 1-5 |
| Erscheinungsvermerk | (1997) |