Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1997 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 120041187 |
HGF-Programm | 41.04.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | TR Technische Rundschau |
Band | 89 |
Heft | 19 |
Seiten | 32-35 |