| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120041187 |
| HGF-Programm | 41.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | TR Technische Rundschau |
| Band | 89 |
| Heft | 19 |
| Seiten | 32-35 |