Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1997 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 120041214 |
HGF-Programm | 41.07.02 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | F & M : Feinwerktechnik, Mikrotechnik, Mikroelektronik |
Band | 105 |
Seiten | 247-51 |
Erscheinungsvermerk | Mikrotechnik, Messtechnik |