Prototype of a microtesting system made by the LIGA process to measure the Young's modulus in cantilever microbeams
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120041337 |
| HGF-Programm | 41.02.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Transactions of the ASME - Journal of Dynamic Systems |
| Band | 119 |
| Seiten | 57-60 |
| Erscheinungsvermerk | Measurement, and Control |