Aufbau und Betrieb einer Kleinserienfertigung von LIGA-Spektrometern
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120041469 |
| HGF-Programm | 41.04.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Swiss Plastics |
| Band | 19 |
| Seiten | 5-9 |