Heißprägen von Mikrostrukturen als Fertigungsprozeß
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120041828 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | F & M : Feinwerktechnik, Mikrotechnik, Mikroelektronik |
| Band | 105 |
| Seiten | 598-602 |
| Erscheinungsvermerk | Mikrotechnik, Mikroelektronik |