Surface- and microanalytical characterization of ion-implanted Si-C-N layers
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120042145 |
| HGF-Programm | 41.02.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Fresenius' Journal of Analytical Chemistry |
| Band | 361 |
| Seiten | 630-33 |
| Erscheinungsvermerk | 9.Tagung Festkörperanalytik, Chemnitz, 23.-26.Juni 1997 |