Industrielle Fertigung von Mikrokomponenten und -systemen: Aufstieg in die erste LIGA
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120042634 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Schweizer Maschinenmarkt |
| Heft | 12 |
| Seiten | 24-29 |
| Erscheinungsvermerk | (1997) |