LIGA - A technology for production of microcomponents and for development of microsystems
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120042642 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of the Japan Welding Society |
| Band | 66 |
| Seiten | 73-76 |
| Erscheinungsvermerk | No.4, In Japan.Sprache |