Fabrication and characterization of microlenses realized by a modified LIGA process

Ruther, P.; Gerlach, B.; Göttert, J.; Ilie, M.; Mohr, J.; Müller, A.; Ossmann, C.

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seit 14.05.2018

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1997
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 120042645
HGF-Programm	41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	Pure and Applied Optics
Band	6
Seiten	643-53