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Photomolding in microsystem technology

Hanemann, T.; Ruprecht, R.; Hausselt, J. H.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 120043869
HGF-Programm 41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Polymer Reprints
Band 39
Seiten 657-658
Erscheinungsvermerk American Chemical Society National Meeting, Boston, Mass., August 23-27, 1998
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