Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1998 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 120043921 |
HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | F & M : Feinwerktechnik, Mikrotechnik, Mikroelektronik |
Band | 106 |
Seiten | 646-649 |
Erscheinungsvermerk | Mikrotechnik, Mikroelektronik |