| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120044484 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Zwick-Hauszeitschrift |
| Band | 11 |
| Seiten | 7 |