Vakuumheißprägen von Kunststoffmikrostrukturen, ein Weg zu anspruchsvollen Bauteilen für die Mikrooptik und Mikrosensorik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120044847 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Nachrichten - Forschungszentrum Karlsruhe |
| Band | 30 |
| Seiten | 231-36 |