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Galvanische und chemische Abformung von Kunststoff-Mikrostrukturen

Bacher, W.; Bade, K.; Konys, J.; Schanz, G.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1998
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120044850
HGF-Programm 41.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Nachrichten - Forschungszentrum Karlsruhe
Band 30
Seiten 251-60
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