Synchrotronstrahlung zur Herstellung von Mikrobauteilen
Fahrenberg, J.; Hesch, K.
; Saile, V.
; Saile, V.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120045224 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Werkstattstechnik - Forschung und Entwicklung für die Produktion |
| Band | 88 |
| Seiten | 40-41 |
| Erscheinungsvermerk | (1998) |