Mikrotechnik und dünne Schichten: Technologiefelder mit Zukunft
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120045408 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Ingenieur-Werkstoffe |
| Band | 7 |
| Heft | 2 |
| Seiten | 56-58 |
| Erscheinungsvermerk | (1998) |