Torque evaluation of a LIGA fabricated electrostatic micromotor
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120045553 |
| HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | IEEE Journal of Microelectromechanical Systems |
| Band | 8 |
| Seiten | 115-23 |