Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1999 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 120045634 |
HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | F & M : Feinwerktechnik, Mikrotechnik, Mikroelektronik |
Band | 107 |
Seiten | 57-60 |
Erscheinungsvermerk | Mikrotechnik, Mikroelektronik |