Lithographie heute und morgen. Teil 1: Die optische Lithographie erweitert ihre Grenzen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120045634 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | F & M : Feinwerktechnik, Mikrotechnik, Mikroelektronik |
| Band | 107 |
| Seiten | 57-60 |
| Erscheinungsvermerk | Mikrotechnik, Mikroelektronik |