Miniaturisierter Abstandssensor, hergestellt nach dem LIGA-Verfahren
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120045917 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Technisches Messen |
| Band | 66 |
| Seiten | 176-84 |
| Erscheinungsvermerk | TM - |