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Galvanische Prozesse in der Mikrosystemtechnik. Effekte, Kontrolle und Steuerung

Bade, K.; Fath, A.; Leskopf, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1999
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120046283
HGF-Programm 41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Metalloberfläche
Band 53
Heft 9
Seiten 34-40
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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