Galvanische Prozesse in der Mikrosystemtechnik. Effekte, Kontrolle und Steuerung
Bade, K.
; Fath, A.; Leskopf, W.
; Fath, A.; Leskopf, W.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120046283 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Metalloberfläche |
| Band | 53 |
| Heft | 9 |
| Seiten | 34-40 |