Zusammenarbeit zwischen Forschung und Industrie in der Mikrosystemtechnik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120046581 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Galvanotechnik |
| Band | 90 |
| Seiten | 3121 |