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Prüfverfahren für Materialien der Mikrosystemtechnik

Adelhelm, C.; Aktaa, J.; Feit, K.; Rohde, M.; Zimmermann, H.; Zum Gahr, K.H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 120047027
HGF-Programm 41.01.03; LK 01
Erschienen in Galvanotechnik
Band 91
Seiten 192-99
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