Prüfverfahren für Materialien der Mikrosystemtechnik

Adelhelm, C.; Aktaa, J.; Feit, K.; Rohde, M.; Zimmermann, H.; Zum Gahr, K. H.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	2000
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 120047027
HGF-Programm	41.01.03 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	Galvanotechnik
Band	91
Seiten	192-99