| Zugehörige Institution(en) am KIT | Projekt Mikrosystemtechnik (PMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120047326 |
| HGF-Programm | 42.98.00 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Nachrichten - Forschungszentrum Karlsruhe |
| Band | 32 |
| Seiten | 7-9 |