| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120047451 |
| HGF-Programm | 41.03.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | F & M : Feinwerktechnik, Mikrotechnik, Mikroelektronik |
| Band | 108 |
| Seiten | 40-44 |
| Erscheinungsvermerk | Mikrotechnik, Messtechnik |