Aluminium als Material für die Mikrosystemtechnik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120047612 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Galvanotechnik |
| Band | 91 |
| Seiten | 1380-89 |