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Aluminium als Material für die Mikrosystemtechnik

Karthaus, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 120047612
HGF-Programm 41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Galvanotechnik
Band 91
Seiten 1380-89
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