Zugehörige Institution(en) am KIT | Mikrotechnologie (MIKRO) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 120050683 |
HGF-Programm | 41.01.00 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Micromachine Devices |
Band | 6 |
Heft | 9 |
Seiten | 11-14 |