| Zugehörige Institution(en) am KIT | Mikrotechnologie (MIKRO) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 120050683 |
| HGF-Programm | 41.01.00 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Micromachine Devices |
| Band | 6 |
| Heft | 9 |
| Seiten | 11-14 |